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如何正确清洁蓝宝石窗片？实用指南
蓝宝石窗片因其高硬度、耐高温和抗刮擦特性，广泛应用于光学仪器、激光设备和高精度传感器中。然而，不当的清洁方法可能导致划痕或镀膜损伤。以下是建议的科学清洁流程：
一、清洁前准备
1. 工具选择：使用无尘实验室级超细纤维布（如镜头纸或无尘布），搭配高纯度异（99%以上）或（需确认兼容性）。
2. 环境控制：在洁净室或密闭环境中操作，避免空气尘埃污染。佩戴防止指纹残留。
二、标准化清洁流程
1. 预除尘处理
使用经0.1μm过滤的压缩空（压力＜2bar）或氮气吹扫，以30°角距表面10cm吹扫，清除附着颗粒物。禁止使用毛刷类工具。
2. 溶剂清洗阶段
- 将无尘布折叠成8层，滴加溶剂至微润状态
- 采用"单向擦拭法"：沿同一方向匀速擦拭，每面仅用一次，避免交叉污染
- 顽固污染物需采用"溶剂浸泡法"：用特氟龙镊子夹持窗片，在50℃恒温超声槽中（频率40kHz）处理≤3分钟
3. 后处理流程
- 去离子水（18MΩ·cm）冲洗后，用临界干燥设备去除水渍
- 在百级洁净台内进行真空干燥（温度＜80℃，真空度10⁻³Pa）
三、关键注意事项
1. 镀膜保护：对AR/IR镀膜样品，禁用pH＜5或＞9的溶剂，避免超声清洗
2. 应力控制：清洁后需进行干涉仪检测，表面变形量应＜λ/10（@632.8nm）
3. 存储规范：存放于Class100洁净袋，相对湿度40±5%，温度20±2℃环境
四、常见误区警示
- 禁用擦拭金刚石镀膜层
- 避免接触等卤素化合物
- 激光窗口需额外进行LIDT测试后处理
定期维护建议：高使用频率环境（如激光切割机）应每200工作小时进行级清洁，配合Zygo表面检测确保光学性能。对于特殊涂层或微结构表面，建议联系制造商获取定制化清洁方案。
